GENTEC捷锐MV30系列膜片式计量阀
MV30 系列膜片式计量阀
GENTEC® MV30 系列膜片式计量阀主要针对半导体制程设备高纯气体应用领域使用。
优势特点
316L 或 316L VAR不锈钢材料
最大工作压力:150 psi (10.3 bar)
流量系数:Cv=0.25
工作温度:-10℃~80℃
带刻度旋钮开关
FSR 连接
经过氦气测试
安装尺寸图
安装尺寸图
流量系数图
流量系数图
订购指南
Ex: SL
母体
- MV30
系列号
M -
旋钮样式
VM4 -
进气/出气连接
K -
阀座材料
E
选项
SL: 316L
SLV: 316L VAR
MV30 M: 手动带刻度 VSM4: 1/4” 面密封旋转式外螺纹接头
VSF4: 1/4” 面密封旋转式内螺纹接头
……
其他形式接头可供选择
K: PCTFE 空: Ra 15 μin
E: Ra 10 μin
资料下载
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