U61 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U61 系列波纹管式 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 不锈钢母体
波纹管式减压结构
波纹管阀芯一体式结构
后座安装
压力表标准连接:VSM4
内部电解抛光
经氦气测试